Химическое фрезерование

Фотохимическая обработка широко применяется в производстве плоских прецизионных деталей, изделий и структур различного назначения. Одним из видов такой обработки является фотохимическое фрезерование для получения деталей путем одно- или двусторонней фотопечати на листовом материале с последующим сквозным или несквозным травлением по контуру фоторезистивного рисунка. Диапазон применяемых для изготовления деталей металлов и сплавов достаточно широк. Низкоуглеродистая и легированная сталь, пермаллой, сплавы фени, никель, медь, бронза, титан, молибден, вольфрам, нихром и др. Для создания фоторезистивного рисунка используются жидкие негативные и позитивные фоторезисты различных марок и составов. В качестве травильных растворов применяются перекисные травители, солевые (на основе хлорного железа, хлорной меди, персульфата аммония), смеси кислот.

Современное состояние технологии фотохимического фрезерования и ее промышленная реализация характеризуются постоянным совершенствованием планшетного и быстрым развитием рулонного способов при изготовлении различных деталей, а также созданием соответствующих комплектов оборудования.

Фотохимическое фрезерование по планшетной технологии осуществляется в следующей последовательности:

• подготовка заготовок перед нанесением фоторезиста;
• нанесение фоторезиста и сушка;
• экспонирование;
• проявление, промывка, сушка;
• химическое травление, промывка, сушка;
• электрохимическое травление, промывка, сушка;
• удаление фоторезиста, промывка, сушка.

На оборудовании обрабатываются плоские заготовки в виде планшетов с максимальным размером 100х100 мм. Установка электрохимического травления позволяет обрабатывать заготовки с максимальным размером 100х100 мм.